潔凈室空調采用循環空氣方式

FFU層流罩之潔凈室亂流式：

　　空氣由空調箱經風管與潔凈室內之空氣過濾器（HEPA）進入潔凈室，并由潔凈室兩側隔間墻板或高架地板回風。氣流非直線型運動而呈不規則之亂流或渦流狀態。此型式適用于潔凈室等級1,000-100,000級。　　
　　
        優點：構造簡單、系統建造成本，潔凈室之擴充比較容易，在某些特殊用途場所，可并用無塵工作臺，提高潔凈室等級。

　　缺點：亂流造成的微塵粒子于室內空間飄浮不易排出，易污染制程產品。另外若系統停止運轉再激活，欲達需求之潔凈度，往往須耗時相當長一段時間。

    FFU層流罩之集中式潔凈空調系統是無塵凈化工程的潔凈設備（如加熱器、冷卻器、加濕器、粗中效空氣過濾器、風機等）集中設計在空調機房內，用風管將潔凈空氣送進各個潔凈室。分散式潔凈空調系統是在一般的空調環境或低級別潔凈空調環境中，設置凈化設備或潔凈空調設備（如凈化單元、空氣自凈器、層流罩、潔凈工作臺等）.在半導體芯片工廠或其他生產過程要求高潔凈度的潔凈廠房中，其潔凈空調系統采用循環空氣方式，其循環方式主要有集中式、隧道式、風機過濾單（FFU）方式和微環境+開放式潔凈室方式等。這些送風方式既可以滿足高潔凈度要求，還可以不同程度地減小能耗。

　  LED/液晶/線路板制造是一種高度精密化的工業，一些細微的環境或操作變動都有可能影響其制造成品的質量，因此制造過程均要求在嚴格控制下的潔凈室中操作。潔凈室是一個采用層層過濾以去除空氣中微粒存在，并控制室內溫度與濕度于恒定狀態的密閉空間。


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