GMP車間凈化工程潔凈室是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除，并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給予特別設(shè)計之凈化車間潔凈室(CleanRoom)，亦稱為無塵室或清凈室。zui主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造，此空間我們稱之為無塵室。按照慣例，
GMP車間凈化工程無塵凈化級別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數(shù)量來規(guī)定。也就是說所謂無塵并非100%沒有一點灰塵，而是控制在一個非常微量的單位上。當然這個標準中符合灰塵標準的顆粒相對于我們常見的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微，但是對于光學(xué)構(gòu)造而言，哪怕是一點點的灰塵都會產(chǎn)生非常大的響，所以在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上，無塵是必然的要求。
1垂直單向流潔凈室選擇縱、橫剖面各一個，以及距地面高度0.8m、1.5m的水平面各一個；水平單向流潔凈室選擇縱剖面和工作區(qū)高度水平面各一個，以及距送、回風(fēng)墻面0.5和房間中心處等3個橫剖面，所有面上的測點間距均為0.2m~1m；
2)亂流潔凈室選擇通過代表性送風(fēng)口中心的縱、橫剖面和工作區(qū)高度的水平面各一個，剖面上的測點間距為0.2m~0.5m，水平面上測點間距為0.5m~1m。兩個風(fēng)口之間的中線上應(yīng)有測點。
2測定方法：用發(fā)煙器或懸掛單絲線的方法逐點觀察和記錄氣流流向，并可用量角器量出角度，發(fā)煙源可用超聲波霧化（0.5um~50um水霧）的去離子（DI）水、噴射方法生成的乙醇或二醇、固態(tài)二氧化碳（干冰）等，在高強度光源下示蹤。在確保對人和物無傷害時可以四氯化鈦（TiCl4）作示蹤粒子。
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更新時間：2016-06-20
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